2025年末，中國電子科技集團公司第九研究所（又名：西南應用磁學研究所（SIAM））在高性能弱磁場傳感器領域迎來里程碑式進展——成功研制出我國首款MEMS磁通門傳感器工程化產品。MEMS磁通門作為一種高精度弱磁場傳感器，能夠感應外界微弱的直流或低頻磁場，可廣泛應用于弱磁探測、姿態測量/導航、電流檢測等領域。

關于中國電科第九研究所：該研究所位于四川省綿陽市，是全國唯一綜合性磁應用技術研究所、中央事業單位、國家磁性材料及器件核心能力研制單位，承擔了國防電子裝備領域關鍵磁性元器件、微波毫米波器件等研發生產，是國內唯一涵蓋磁性材料（永磁、旋磁、軟磁）及器件各專業領域的國家一類骨干研究所，技術成果和產品廣泛用于海、陸、空、天領域的國防技術裝備中，是國防工業中不可或缺的軍工科研力量。中國電科第九研究所于2016年加入中電科重慶聲光電磁子集團。 

中國電科第九研究所研制的MEMS磁通門傳感器

MEMS磁通門傳感器項目啟動時，科研團隊瞄準微型化集成、薄膜磁心材料、MEMS制造工藝、測試優化等科研難題，依托中國電科第九研究所的磁性微納工藝平臺，整合國內行業優勢資源。通過多重光刻與梯度電鍍技術、磁心圖案化設計與退火工藝的協同優化等創新，歷經數十輪工藝迭代，團隊不斷突破工藝極限，成功攻克了薄膜磁心微米級定位、高可靠性超高厚度銅柱制備等關鍵技術難題。這使得MEMS磁通門傳感器尺寸縮小50%以上，器件性能躍升至全新高度，推動了高性能磁心的批量制造，實現了低噪聲、微型化MEMS磁通門傳感器在“產學研用”方面的深度融合。

中國電科第九研究所利用MEMS技術實現了磁傳感器核心部件的微型化加工，突破了從器件設計到材料制備等多項核心關鍵技術，成功研制出我國首款MEMS磁通門傳感器工程化產品。該產品有效解決了傳統高精度矢量傳感器存在的體積大、功耗高、集成度低等問題，其技術達到國際先進水平。

展望未來，面向電子裝備集成化、智能化發展趨勢，中國電科第九研究所科研團隊將深度挖掘并響應磁傳感應用各細分領域的核心需求，著力突破專用接口芯片、智能算法等關鍵技術，提供定制化磁感知與探測解決方案，推動我國打造良性發展的高端磁傳感器核心材料、工藝、器件及應用生態系統。